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丙二酸单体的前体,HfO2和ZrO2薄膜的MOCVD。

丙二酸单体的前体,HfO2和ZrO2薄膜的MOCVD。
 
拉玛pothiraja,安高长玉,哈里什帕拉拉,Manuela冬天,罗兰菲舍尔,Anjana Devi
 
发表于19378558
 
摘要
 
新的Hf和Zr丙二酸配合物有合成的金属酰胺不同丙二酸配体(L =二甲基丙二酸hdmml,丙二酸二乙酯(hdeml),堤叔丁基丙二酸hdbml和双(三甲基硅基)丙二酸(hbsml)的反应。得到了HF所有丙二酸配体进行配八配位的单体化合物的类型4。相反,Zr只有hdmml hdeml产生八个协调的单体化合物类型ML4,而使用笨重的hdbml hbsml配体导致混合Alkoxo丙二酸六配位化合物的类型(ML2(或)2 ]。单晶X-射线衍射研究的所有的化合物的介绍和讨论,和它们被发现是单体。该配合物是固体和在溶液中,它们保留其单体性质,证明了核磁共振测量。相比经典的β-二酮络合物,[ M(acac)4 ]和[M(THD)4](M = Hf,Zr;acac:乙酰丙酮;总谐波失真(THD):- tetramethylheptadione),新的丙二酸化合物是更不稳定,分解在较低温度下具有较低的熔点。特别是,均系的丙二酸二乙酯络合物Hf和Zr在温度低至62摄氏度。此外熔体,化合物在空气中非常稳定,可以升华的定量。有前途的热性能,使得这些化合物的有机金属化学气相沉积(MOCVD)有趣。这是通过沉积HfO2和ZrO2薄膜的成功具有代表性的两个HF和锆配合物
 
 
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